第一阶段是齿面点蚀，点蚀多发作在节线四周。
 

全新的高精密斜齿行星减速机轮齿未经磨合其外表会有必定的粗拙度。在节线四周，两个减速器轮齿相互触摸滑动的方向刚好发作改变，油膜厚度最薄，触摸面积很小，并且只有动弹冲突而无滑动冲突，发生很大的触摸压应力，使新齿轮节线四周外表的一些小细节出高点受压变形或掉落，因而构成点蚀，这种点蚀通常在减速器轮齿磨合期过后都能愈合。
 

第二阶段是当触摸应力和轮回次数超越必定极限时，两齿面会发生细小的裂纹，触摸应力是随时间而变化的脉动轮回应力，随轮回次数的添加，裂纹逐渐扩展，就会使裂纹之间的金属微粒脱落下来构成齿面疲乏点蚀。
 

最终一个阶段是脱落，其构成是很多点蚀的小凹坑联合而成大洞。在这种景象下，应监督减速器轮齿脱落的速度以铺排更换新减速器轮齿，然后防止减速器轮齿损坏构成毛病停机。