采用伺服精密行星减速机时，经常出现各种设备故障。根据统计，大功率行星减速机80%的故障问题都是由于齿轮所造成的，也就是说，齿轮损坏是行星减速机。所以，根本原因在于，在日常管理和运行中，必须注重对大功率齿轮减速机的维修与保养。
 

齿轮失效形式多种多样，裂缝进一步发展扩展。其失效形式有多种途径和形式。在这些故障中，较多的裂纹故障是比较严重的，其故障模式可引起齿轮疲劳甚至全部失效。所以，精密行星减速机对裂缝的破坏机理进行分析，并找出有效的裂缝故障诊断方法十分重要。
 

常规诊断方法是振动频谱分析。这一方法基于传统振动理论。通过诊断仪采集振动数据和波形，进行分析诊断，确定精密行星减速机故障原因及位置。但是，必须建立足够精确的故障模型，以准确地识别故障状态下的振动信号。对诊断人员在故障诊断方面有丰富的经验。