行星减速机配件弹簧隔振器样式的选择：一般选用自立式弹簧减振器，其优点结构简单、造价较低；弹簧录露在，便于随时观察弹簧状态，对于需更换的弹簧提前处置，以避免弹簧锈蚀过度损坏时，造成真空泵突然沉降造成设备损害及管路扯断等现像。
弹簧的选择：一般行星减速机厂家选用弹簧需满足以下要求：弹簧直径应不少于其在额定负载下高度的0.8倍；弹簧须具备一定的额行程，涡街流量计至少等于额定静挠度的50%。
轴承损坏或磨损过大等，使定子和转子相碰擦，可检查减速机轴承是否有松动，定子和转子是否装配不良；
笼型转子断条或绕线转子线圈接头松脱，引起维修网电流过大而发热，可对铜条转子作焊补或更换，对减速机铸铝转子应更换转子；
绕组接线有错，误将星形接成三角形，或误将三角形接成星形，
行星减速机在额定负载下运行，都会使电机过热，应检查纠正；
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