首先来检查高、低速轴与联轴器配合尺寸。然后测量
行星减速机轴的弯曲度。当伺服减速机受到较大冲击时，如断齿、齿顶齿，将轴送修配用车床测量弯曲度；周期性大修时，待齿轮就位轴承间隙调整后，进行弯曲度的测量，作为下次伺服减速机检修的参考数据。
接下来是行星减速机齿轮的检查，用铜棒敲击法检查齿轮在轴上的紧固情况。齿轮平衡重块不得有松动和脱落现象，齿轮在轴上无松动，齿轮端面有挤压变形时，应将变形伸出的毛刺打磨平整。
然后是减速机的轴承端盖水平度测量。最后是检测油封。对油封已经硬化、歪斜、磨损、变形严重的应更换，避免造成油封失效。
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